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专利摘要

本实用新型涉及半导体器件技术领域，公开一种可测电的微型片转移装置，微型片转移装置包括：用于转移微型片的触头；用于驱动所述触头调整位姿的探针，且所述探针与所述触头固定连接或一体成型；以及用于测量所述微型片电特性的导电组件，所述导电组件的检测端设置于所述触头。本实用新型提供的微型片转移装置能够同步实现微型片的转移和电特性检测，简化作业工序，提高工作效率。 ......

基本信息

专利类型:
发明专利
申请/专利号:
CN202222419426.3
申请日期:
2022-09-13
专利申请人:
["深圳清华大学研究院","清华大学"]
分类号:
G01R31/00 ; G01R1/04
发明/设计人:
杨鼎麟，聂锦辉，郑泉水
权利要求: 1.一种可测电的微型片转移装置，其特征在于，包括：用于转移微型片(100)的触头(1)；用于驱动所述触头(1)调整位姿的探针(2)，且所述探针(2)与所述触头(1)固定连接或一体成型；以及用于测量所述微型片(100)电特性的导电组件，所述导电组件的检测端设置于所述触头(1)。2.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，所述触头(1)的底部设置有用于粘取所述微型片(100)的粘取部(11)。3.根据权利要求2所述的微型片转移装置，其特征在于，所述粘取部(11)采用具有吸附力的弹性透明材料制成，所述检测端嵌设于所述粘取部(11)的内部或贴合于所述粘取部(11)的外侧面。4.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，所述触头(1)朝向所述微型片(100)的一侧面设有导电涂层，或者在所述触头(1)的底部中间区域设有导电涂层。5.根据权利要求1所述的微型片转移装置，其特征在于，所述导电组件还包括测电通道(3)，所述触头(1)上的所述检测端与外部设备(4)通过所述测电通道(3)电连接。6.根据权利要求5所述的微型片转移装置，其特征在于，所述外部设备(4)包括用于向所述微型片(100)通电的通电组件和用于检测所述微型片(100)电特性的检测组件，所述通电组件、所述检测组件均与所述微型片(100)电连通。7.根据权利要求6所述的微型片转移装置，其特征在于，所述检测组件包括电压检测元件、电流检测元件和电导率仪中的任一种或多种。8.根据权利要求5所述的微型片转移装置，其特征在于，所述测电通道(3)包括第一导电层(31)、第二导电层(32)和绝缘轴套(33)，所述第一导电层(31)包覆于所述探针(2)的外周，所述第二导电层(32)包覆于所述第一导电层(31)的外周，所述绝缘轴套(33)包覆于所述第二导电层(32)的外周，所述第一导电层(31)与所述第二导电层(32)之间相互绝缘。9.根据权利要求5所述的微型片转移装置，其特征在于，所述外部设备(4)的一个导电端通过导线和所述测电通道(3)与所述触头(1)上的所述检测端电连接，所述外部设备(4)的另一个所述导电端通过导线与所述微型片(100)电连接，所述触头(1)粘取所述微型片(100)时，所述检测端与所述微型片(100)导通。10.根据权利要求1-9任一项所述的微型片转移装置，其特征在于，所述微型片转移装置还包括用于检测所述触头(1)受力的力传感器(8)，所述力传感器(8)与所述探针(2)相连接。