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专利摘要

本实用新型公开了一种轴承外圈支撑组件，涉及表面工程领域，包括本体，本体用于设置于壳体的真空腔内，本体用于固定轴承外圈，并使轴承外圈相对于溅射靶倾斜；且本体用于与驱动组件连接，并能够在驱动组件的驱动下使轴承外圈自身旋转。本实用新型还提供一种包括上述轴承外圈支撑组件的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置。本实用新型提供的轴承外圈支撑组件及轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，能够提升轴承外圈内滚道上镀膜的均匀性。 ......

基本信息

专利类型:
发明专利
申请/专利号:
CN202222145451.7
申请日期:
2022-08-16
专利申请人:
中国科学院兰州化学物理研究所
分类号:
C23C14/34;C23C14/50
发明/设计人:
马鹏翔，王鹏，柴利强，白小刚，赵晓宇，乔丽
权利要求: 1.一种轴承外圈支撑组件，其特征在于：包括本体(30)，所述本体(30)用于设置于壳体(10)的真空腔(11)内，所述本体(30)用于固定轴承外圈，并使所述轴承外圈相对于溅射靶(21)倾斜；且所述本体(30)用于与驱动组件(40)连接，并能够在所述驱动组件(40)的驱动下使所述轴承外圈自身旋转。2.根据权利要求1所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：所述本体(30)包括旋转底盘(31)、旋转顶盘(32)和至少一个中间斜连接件(33)，所述旋转底盘(31)与所述旋转顶盘(32)通过第一支撑杆(38)固定连接且中心线重合，所述旋转底盘(31)和所述旋转顶盘(32)之间用于在纵向上并排固定至少两个相对于所述溅射靶(21)倾斜的所述轴承外圈，所述旋转底盘(31)用于与底部的所述轴承外圈固定连接，所述旋转顶盘(32)用于与顶部的所述轴承外圈固定连接，所述中间斜连接件(33)用于固定连接相邻的两个所述轴承外圈；所述旋转底盘(31)用于与所述驱动组件(40)固定连接，所述驱动组件(40)用于驱动所述旋转底盘(31)和所述旋转顶盘(32)绕所述中心线同步旋转并带动多个所述轴承外圈同步旋转。3.根据权利要求2所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：所述本体(30)还包括下支撑杆(34)、下斜连接件(35)、上支撑杆(36)和上斜连接件(37)，所述下支撑杆(34)一端与所述旋转底盘(31)固定连接，所述下支撑杆(34)另一端与所述下斜连接件(35)固定连接，所述下斜连接件(35)具有斜面(351)，所述斜面(351)用于与底部的所述轴承外圈端面面接触并固定连接以使所述轴承外圈相对于所述溅射靶(21)倾斜；所述上支撑杆(36)一端与所述旋转顶盘(32)固定连接，所述上支撑杆(36)另一端与所述上斜连接件(37)固定连接，所述上斜连接件(37)用于与顶部的所述轴承外圈固定连接。4.根据权利要求3所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：所述中间斜连接件(33)和所述上斜连接件(37)设置为连接板，所述下斜连接件(35)设置为支撑块，所述支撑块与所述下支撑杆(34)固定连接，且所述支撑块上具有所述斜面(351)，所述斜面(351)与水平面的夹角为45°。5.根据权利要求3所述的轴承外圈支撑组件，其特征在于：还包括多个轴承外圈座(50)和多个环形保护盖(60)，各所述轴承外圈座(50)分别用于沿周向套设于各所述轴承外圈外；各所述环形保护盖(60)分别用于盖设于各所述轴承外圈的端面的环形区；所述斜面(351)用于与底部的所述轴承外圈一端面盖设的所述环形保护盖(60)面接触并固定连接；所述中间斜连接件(33)两端用于与相邻的两个所述轴承外圈端面上盖设的两个所述环形保护盖(60)固定连接；所述上斜连接件(37)下端用于与顶部的所述轴承外圈一端面盖设的所述环形保护盖(60)固定连接。6.一种轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，其特征在于：包括:壳体(10)，所述壳体(10)具有真空腔(11)；溅射组件(20)，所述溅射组件(20)包括设置于所述真空腔(11)内的溅射靶(21)，所述溅射靶(21)用于溅射粒子；所述溅射靶(21)竖直设置于所述真空腔(11)内；如权利要求1-5任一项所述的轴承外圈支撑组件；及驱动组件(40)，所述驱动组件(40)设置于所述壳体(10)上，所述驱动组件(40)与所述轴承外圈支撑组件的本体(30)连接，并用于驱动轴承外圈自身旋转。7.根据权利要求6所述的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，其特征在于：所述轴承外圈支撑组件和所述溅射靶(21)的数量相同且均设置为多个，所述轴承外圈支撑组件和所述溅射靶(21)一一相对设置；各所述轴承外圈支撑组件均用于固定所述轴承外圈，各所述轴承外圈支撑组件的所述本体(30)均与所述驱动组件(40)连接，所述驱动组件(40)用于驱动各所述本体(30)上的所述轴承外圈旋转。8.根据权利要求7所述的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，其特征在于：各所述本体(30)均包括旋转底盘(31)，所述旋转底盘(31)用于与底部的所述轴承外圈固定连接；所述驱动组件(40)包括主驱动部件(41)和从驱动部件(42)，所述从驱动部件(42)的数量与所述轴承外圈支撑组件的数量相同且纵向上一一对应设置；所述主驱动部件(41)包括驱动电机、主转轴(411)和主齿轮(412)，所述驱动电机的输出端与所述主转轴(411)固定连接，所述主齿轮(412)固定套设于所述主转轴(411)外；各所述从驱动部件(42)均包括从转轴(421)和从齿轮(422)，所述从齿轮(422)固定套设于所述从转轴(421)外，且各所述从齿轮(422)均与所述主齿轮(412)啮合连接，各所述从转轴(421)与对应所述旋转底盘(31)固定连接；所述电机用于驱动所述主转轴(411)转动并依次带动所述主齿轮(412)、各所述从齿轮(422)和各所述从转轴(421)同步转动，进而带动各所述本体(30)同步转动。9.根据权利要求8所述的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，其特征在于：所述真空腔(11)内设置有隔板(12)，所述隔板(12)将所述真空腔(11)分隔成上腔(13)和下腔(14)，所述主齿轮(412)、所述主转轴(411)和各所述从驱动部件(42)设置于所述下腔(14)内，所述溅射靶(21)和各所述本体(30)设置于所述上腔(13)内，各所述溅射靶(21)均通过靶座(22)与所述隔板(12)固定连接；所述隔板(12)上设置有与所述本体(30)数量相同的通孔，各所述本体(30)的所述旋转底盘(31)对应设置于一个所述通孔处，并与对应所述从转轴(421)固定连接。10.根据权利要求6所述的轴承外圈内滚道溅射镀膜装置，其特征在于：所述溅射组件(20)还包括抽真空装置、气路系统和电控系统，所述壳体(10)上设置有能够连通所述真空腔(11)的抽气口和通气口；所述抽真空装置与所述抽气口密封连接并连通并用于抽取所述壳体(10)内的空气以形成所述真空腔(11)，所述气路系统与所述通气口密封连接并连通并用于向所述真空腔(11)内提供气体，所述电控系统设置于所述壳体(10)外部并与所述溅射靶(21)连接以用于向所述溅射靶(21)供电。