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机械工程学会摩擦学分会 固体润滑国家重点实验室 摩擦学学报
一种纳米晶MoS2固体润滑薄膜及其制备方法和应用
专利摘要

本发明提供一种纳米晶MoS2固体润滑薄膜及其制备方法和应用，属于固体润滑薄膜技术领域。本发明提供的制备方法，包括以下步骤：利用溅射方法在钢材表面沉积MoS2薄膜，得到沉积后钢材；将所述沉积后钢材进行真空热处理，在所述沉积后钢材表面得到纳米晶MoS2固体润滑薄膜。本发明利用溅射方法制得的MoS2薄膜具有致密的类非晶结构；利用真空热处理能够使MoS2薄膜的结构由类非晶结构向纳米晶结构转变。本发明通过将溅射方法与真空热处理相结合来调控MoS2薄膜中MoS2的结晶性，以实现对纳米晶MoS2固体润滑薄膜摩擦学性能的调控，进而提高纳米晶MoS2固体润滑薄膜的摩擦学性能。 ......

基本信息
  • 专利类型:

    发明专利

  • 申请/专利号:

    CN202010322092.0

  • 申请日期:

    2020-04-22

  • 专利申请人:

    ["上海宇航系统工程研究所","中国科学院兰州化学物理研究所"]

  • 分类号:

    C23C14/06;C23C14/34;C23C14/58;F16C33/66

  • 发明/设计人:

    高晓明 ， 张瑞 ， 翁立军 ， 孙嘉奕 ， 崔琦峰 ， 胡明 ， 伏彦龙 ， 杨军 ， 王德生 ， 姜栋 ， 王琴琴

  • 权利要求: 1.一种纳米晶MoS2固体润滑薄膜的制备方法，包括以下步骤：利用溅射方法在钢材表面沉积MoS2薄膜，得到沉积后钢材；所述溅射用靶为MoS2靶溅射，所述MoS2靶溅射的电源功率为4~8kW；工件架转速为1~3r/min，负偏压值为-0~-200V；将所述沉积后钢材进行真空热处理，在所述沉积后钢材表面得到纳米晶MoS2固体润滑薄膜；所述纳米晶MoS2的晶型为无孔的柱状结构；所述真空热处理的温度为100~300℃，时间为60~240min；升温至所述真空热处理的温度的升温速率为5~20℃/min；所述溅射前，还包括对所述钢材的表面进行离子轰击，所述离子轰击的偏压电源负偏压为-100~-200V，时间为10~30min；所述离子轰击在氩气气氛中进行，所述氩气的分压为0.1~2.0Pa。2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述溅射的沉积时间为80~200min。3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述溅射在氩气气氛中进行，所述氩气的分压为0.1~3.0Pa。4.权利要求1~3任一项所述制备方法制得的纳米晶MoS2固体润滑薄膜，所述纳米晶MoS2固体润滑薄膜的厚度为1~3µm；所述纳米晶MoS2的晶型为无孔的柱状结构。5.权利要求4所述的纳米晶MoS2固体润滑薄膜在机械运动部件的固体润滑中的应用。
原文

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