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专利摘要

本实用新型公开了一种连续驱动装置、MEMS扫描镜及激光雷达，包括基底、驱动部件及滑动基座；所述驱动部件嵌设于所述基底的第一表面内，所述驱动部件与所述滑动基座绝缘设置；所述滑动基座能够被所述驱动部件所驱动并滑动至所述驱动部件的不同位置；所述驱动部件至少包括三个驱动单元；所述驱动单元包括凸出部和/或凹陷部，相邻的驱动单元的所述凸出部及所述凹陷部配合嵌套。本实用新型通过依次激活所述驱动部件内的相邻驱动单元，即可实现连续稳定的多级驱动；此外，通过凸出部与凹陷部滑动基座的受力面积，避免将所述滑动基座从静止态进行移动的静摩擦力增大，导致驱动成功率下降的问题，提升了所述连续驱动装置的工作稳定性。 ......

基本信息

专利类型:
发明专利
申请/专利号:
CN202122463131.1
申请日期:
2021-10-12
专利申请人:
["深圳清华大学研究院","清华大学"]
分类号:
G01S7/481
发明/设计人:
向小健，李闯，黄轩宇，聂锦辉，马明，郑泉水
权利要求: 1.一种连续驱动装置，其特征在于，包括基底、驱动部件及滑动基座；所述驱动部件嵌设于所述基底的第一表面内，所述驱动部件与所述滑动基座绝缘设置；所述滑动基座能够被所述驱动部件所驱动并滑动至所述驱动部件的不同位置；所述驱动部件至少包括三个驱动单元；所述驱动单元包括凸出部和/或凹陷部，相邻的驱动单元的所述凸出部及所述凹陷部配合嵌套。2.如权利要求1所述的连续驱动装置，其特征在于，所述驱动单元的多侧均具有所述凸出部和/或凹陷部。3.如权利要求1所述的连续驱动装置，其特征在于，所述驱动部件还包括驱动电源，所述驱动单元为驱动电极；所述驱动电源在不同的驱动电极之间施加电压。4.如权利要求3所述的连续驱动装置，其特征在于，任意两个相邻的驱动电极均对应一个所述驱动电源。5.如权利要求4所述的连续驱动装置，其特征在于，所述驱动电极包括多个绝缘设置的电极元件。6.如权利要求1所述的连续驱动装置，其特征在于，所述驱动部件的上表面低于所述基底的上表面；所述滑动基座与所述基底接触设置，且与所述驱动部件非接触设置。7.如权利要求1所述的连续驱动装置，其特征在于，所述驱动部件与所述滑动基座之间还包括绝缘层；所述滑动基座在所述绝缘层的上表面滑动。8.如权利要求7所述的连续驱动装置，其特征在于，所述滑动基座与所述绝缘层之间超滑接触。9.如权利要求7所述的连续驱动装置，其特征在于，所述绝缘层的厚度的范围为2纳米至100纳米，包括端点值。10.如权利要求1至9任一项所述的连续驱动装置，其特征在于，多个所述驱动单元一维线型排布或二维平面排布。11.一种MEMS扫描镜，其特征在于，包括如权利要求1至10任一项所述的连续驱动装置。12.一种激光雷达，其特征在于，包括如权利要求11中所述的MEMS扫描镜。