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专利摘要

本发明公开了一种用于化学机械抛光工艺终点检测的离线调试系统及方法，该系统包括：数据读取模块，用于读取预先存储的电机功率数据，其中，电机功率数据为化学机械抛光设备抛光晶圆过程中抛光盘电机驱动器的电机功率信号；调试模块，用于根据电机功率数据确定终点捕捉窗口的参数值。该实施例的系统及方法可使工艺人员线下模拟终点检测过程，并有效调节运动窗口参数，进而在方便参数调试的同时，降低生产成本并提高生产效率。 ......

基本信息

专利类型:
发明专利
申请/专利号:
CN201710713099.3
申请日期:
2017-08-18
专利申请人:
清华大学 | 华海清科股份有限公司
分类号:
B24B37/00 ; B24B49/00
发明/设计人:
李弘恺，路新春，雒建斌，沈攀
权利要求: 1.一种用于化学机械抛光工艺终点检测的离线调试系统，其特征在于，所述系统包括：数据读取模块，用于读取预先存储的电机功率数据，其中，所述电机功率数据为化学机械抛光设备抛光晶圆过程中抛光盘电机驱动器的电机功率信号；调试模块，用于根据所述电机功率数据确定终点捕捉窗口的参数值；所述调试模块，包括：曲线生成子模块，用于生成所述电机功率数据的功率信号曲线；调试子模块，用于根据所述功率信号曲线确定所述终点捕捉窗口的窗口宽度值和窗口高度值，其中，所述终点捕捉窗口随时间与所述功率信号曲线同步运动，并且所述终点捕捉窗口与所述功率信号曲线当前点的相对位置保持不变。2.如权利要求1所述的系统，其特征在于，所述系统还包括：数据处理模块，用于对所述电机功率数据进行平滑降噪处理。3.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述调试子模块，具体用于：确定所述功率信号曲线中上升曲线段或者下降曲线段；根据所述上升曲线段或者下降曲线段的连续数据点确定所述终点捕捉窗口的窗口宽度值的取值范围和窗口高度值的取值范围；将所述终点捕捉窗口的窗口宽度值的取值范围和窗口高度值的取值范围提供给用户，并根据用户的选择确定所述终点捕捉窗口的窗口宽度值和窗口高度值。4.如权利要求2所述的系统，其特征在于，所述数据处理模块，具体用于：根据预设长度的平滑窗口对所述电机功率信号进行平滑处理；所述曲线生成子模块，具体用于：根据平滑处理后的电机功率信号生成功率信号曲线。5.如权利要求4所述的系统，其特征在于，所述数据处理模块，还用于缓存所述电机功率信号，并在确定缓存区域中的电机功率信号超过预设容量阈值时，将所述缓存区域中头部的电机功率信号删除，并将需要保存的新电机功率信号保存至所述缓存区域的尾部。6.一种使用如权利要求1-5任一项所述的用于化学机械抛光工艺终点检测的离线调试系统所进行的离线调试方法，其特征在于，所述方法包括：读取预先存储的电机功率信号，其中，所述电机功率信号为所述化学机械抛光设备抛光晶圆过程中抛光盘电机驱动器的电机功率信号；根据所述电机功率信号确定终点捕捉窗口的参数值；所述根据所述电机功率信号确定终点捕捉窗口的参数值，包括：生成与所述电机功率信号对应的功率信号曲线；根据所述功率信号曲线确定所述终点捕捉窗口的窗口宽度值和窗口高度值，其中，所述终点捕捉窗口随时间与所述功率信号曲线同步运动，并且所述终点捕捉窗口与所述功率信号曲线当前点的相对位置保持不变。7.如权利要求6所述的方法，其特征在于，在所述根据所述电机功率信号确定终点捕捉窗口的参数值时，所述方法还包括：对所述电机功率信号进行平滑降噪处理。8.如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述根据所述功率信号曲线确定所述终点捕捉窗口的窗口宽度值和窗口高度值，包括：确定所述功率信号曲线中上升曲线段或者下降曲线段；根据所述上升曲线段或者下降曲线段的连续数据点确定所述终点捕捉窗口的窗口宽度值的取值范围和窗口高度值的取值范围；将所述终点捕捉窗口的窗口宽度值的取值范围和窗口高度值的取值范围提供给用户，并根据用户的选择确定所述终点捕捉窗口的窗口宽度值和窗口高度值。