润滑科技信息平台

专利摘要

本发明提供了一种金刚石线锯用切割液及制备方法和应用，按照质量分数计包括以下组分：多元饱和醇2～20％；有机酸0.01～5％；有机碱0.01～5％；聚醚1～80％；消泡剂0.01～1％；沉降剂0.01～1％；其余为去离子水。采用上述配方后，本发明的金刚石线锯用切割液能够降低电导率，减小表面张力，提升硅粉沉降性，减少泡沫富集，增强润滑性，降低片均线痕和TTV，提高切割效率；另外，本发明的成分成本低，便于推广应用。 ......

基本信息

专利类型:
发明专利
申请/专利号:
CN202410768942.8
申请日期:
2024-06-14
专利申请人:
["清华大学天津高端装备研究院","清华大学"]
分类号:
["C10M173/02","C10M177/00","C10N30/06","C10N30/04","C10N20/02","C10N30/18","C10N40/16"]
发明/设计人:
戴媛静，邹洋，张紫铜，张晨辉，雒建斌
权利要求: 1.一种金刚石线锯用切割液，其特征在于，按质量百分数计，包括：2.根据权利要求1所述的金刚石线锯用切割液，其特征在于，所述多元饱和醇包括丙二醇、二丙二醇、丙三醇、丁二醇、2-甲基丁二醇、戊二醇、2-甲基戊二醇中的一种或两种及以上；优选地，多元饱和醇为1-甲基戊二醇、丙二醇和二丙二醇；优选地，1-甲基戊二醇、丙二醇和二丙二醇的质量比为：7-8：0.2-0.5：1-1.5。3.根据权利要求1所述的金刚石线锯用切割液，其特征在于，所述有机酸为3-10个碳链的有机酸中的一种或多种；优选地，有机酸包括乳酸、癸酸中的一种。4.根据权利要求1所述的金刚石线锯用切割液，其特征在于，所述有机碱包括二乙醇胺、三乙醇胺、二环己胺、二甘醇胺、二异丙醇胺中的一种或两种及以上。5.根据权利要求1所述的金刚石线锯用切割液，其特征在于，所述润滑剂为嵌段聚醚；优选地，所述嵌段聚醚为聚氧丙烯氧化乙烯甘油醚、丙二醇嵌段聚醚、聚乙二醇-聚丙二醇-聚乙二醇三嵌段共聚物、反式嵌段聚醚中的一种两种及以上。6.根据权利要求1所述的金刚石线锯用切割液，其特征在于，所述有机硅为二甲基聚硅氧烷、二乙基聚硅氧烷、甲基乙基聚硅氧烷中的一种或多种。7.根据根据权利要求1所述的金刚石线锯用切割液，其特征在于，所述沉降剂包括脲胺亚基胺类季铵盐、酰胺类聚合物中的一种或多种。8.一种制备如权利要求1～7任一所述金刚石线锯用切割液的方法，其特征在于，包括如下步骤：在室温条件下，将多元饱和醇、润滑剂、有机硅、沉降剂以任意的顺序加入去离子水中，搅拌均匀后加入有机酸、有机碱搅拌得到混合溶液，将混合液体的pH调至碱性，使用检测装置对金刚石线锯用切割液进行检测，满足0～70s平均摩擦系数小于1.4，则得到金刚石线锯用切割液，优选地，将混合液体的pH调至7.35-7.45；优选地，检测装置包括往复运动模块、力学传感器、上夹具、上摩擦副、下夹具、下摩擦副；下夹具设置在摩擦磨损试验机上，下摩擦副设置在下夹具上，上摩擦副设置在上夹具上，上夹具与摩擦磨损试验机的加压装置连接，待测金刚石线锯用切割液设置在上摩擦副和下摩擦副之间；两个力学传感器设置在下夹具的两侧；两个力学传感器与两个往复运动模块与连接；步骤S1中的上夹具能够固定球及圆柱体；上摩擦副的材质为陶瓷、氮化硅、碳化硅、陶瓷中的一种；上摩擦副为球体或顶部为球面的圆柱体；球体或顶部球体的直径为0.5～10mm；下夹具为固定块夹具，下摩擦副包括单晶硅块、多晶硅块、氮化硅块、碳化硅块、陶瓷块、金刚石片中的一种；力学传感器的量程为0.2～200N。9.根据权利要求1-7任一项所述的金刚石线锯用切割液的应用于金刚石线锯切割时的加工溶液。10.根据权利要求9的应用，其特征在于：将金刚石线锯用切割液利用去离子水稀释5～1000倍进行使用。