本发明提供了一种光伏硅片固结磨料切割液及制备方法,所述切割液中各组分所占重量百分比为:多功能聚醚10~80%,有机酸0.02~2%、有机碱0.2~2%、沉降剂0.02~5%,余量为去离子水。本发明提供的金刚石线锯用切割液具有较强的润湿、渗透性能,适用于大尺寸硅片切割,能够减少线痕、降低金刚线的磨损。 ......

  • 专利类型:

    发明专利

  • 申请/专利号:

    CN202410768943.2

  • 申请日期:

    2024-06-14

  • 专利申请人:

    ["清华大学天津高端装备研究院","清华大学"]

  • 分类号:

    ["C10M173/02","C10M177/00","C10N30/06","C10N30/04","C10N30/18"]

  • 发明/设计人:

    戴媛静邹洋张紫铜张晨辉雒建斌

  • 权利要求: 1.一种光伏硅片固结磨料切割液,其特征在于:按质量百分比计包括:多功能聚醚10~80%;有机酸0.02~2%;有机碱0.2~2%;沉降剂0.02~5%;余量为去离子水。2.根据权利要求1所述的一种光伏硅片固结磨料切割液,其特征在于:所述多功能聚醚包括聚氧丙烯氧化乙烯甘油醚、丙二醇嵌段聚醚、聚乙二醇-聚丙二醇-聚乙二醇三嵌段共聚物、反式嵌段聚醚、超支化脂肪醇聚氧乙烯醚、异构醇聚氧乙烯醚、炔醇聚氧乙烯醚、油脂基多羟基化合物、聚氧乙烯脂肪醇醚、月桂醇聚氧乙烯醚、聚乙二醇单辛醚、聚氧乙烯聚氧丙烯醚、脂肪醇聚氧丙烯醚、酚类聚氧乙烯醚中的两种或多种。3.根据权利要求1所述的一种光伏硅片固结磨料切割液,其特征在于,多功能聚醚为聚氧乙烯-聚氧丙烯嵌段聚合物、脂肪醇乙氧基化丙氧基化物、炔醇聚氧乙烯醚、十二碳炔二醇聚醚和脂肪醇聚氧乙烯醚、超支化脂肪醇聚醚和异构醇聚氧乙烯醚。4.根据权利要求1所述的一种光伏硅片固结磨料切割液,其特征在于:有机酸为7-10个碳链的有机酸。5.根据权利要求1所述的一种光伏硅片固结磨料切割液,其特征在于:有机酸为长链羧酸、磺酸、含氮杂环类羧酸中的一种或多种,优选地,有机酸为癸酸。6.根据权利要求1所述的一种光伏硅片固结磨料切割液,其特征在于:所述有机碱包括乙醇胺、二乙醇胺、三乙醇胺、二环己胺、二甘醇胺、二异丙醇胺中的一种或多种。7.根据权利要求1所述的一种光伏硅片固结磨料切割液,其特征在于:所述沉降剂包括聚碳酸酯、改性聚酰胺化合物、酰胺类聚合物、聚季铵盐、聚氧乙烯中的一种或多种;优选地,沉降剂为酰胺类聚合物。8.权利要求1~7任一项所述的一种光伏硅片固结磨料切割液的制备方法,其特征在于:包括如下步骤:在室温条件下,将多功能聚醚、沉降剂以任意的顺序加入去离子水中,搅拌均匀后加入有机酸、有机碱、消泡剂搅拌,即得到金刚石线锯高效切割液。9.权利要求1~7任一项所述的一种光伏硅片固结磨料切割液应用于金刚石线锯切割时的冷却溶液。10.根据权利要求9所述的应用,其特征在于,将金刚石线锯高效切割液利用去离子水稀释1~10000倍进行使用;优选的,将金刚石线锯高效切割液利用去离子水稀释100~200倍进行使用。

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